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신성이엔지, '반도체대전'에서 클린룸 기술 선보인다 FFU 국산화로 산업 발전 기여, 첨단제조업 공기 제어 선도…"2차전지 드라이룸도 개발"

신상윤 기자공개 2022-10-05 10:13:46

이 기사는 2022년 10월 05일 10:12 thebell 에 표출된 기사입니다.

제24회 반도체 대전(SEDEX 2022)에 참가하는 신성이엔지가 클린룸 주요 장비를 선보인다.

유가증권 상장사 신성이엔지는 5~7일까지 서울 코엑스에서 열리는 이번 전시회에서 반도체 산업 생태계 발전에 기여한 클린룸 장비 및 활동상을 선보일 계획이다.

1977년 설립된 신성이엔지는 국내 최초로 클린룸 주요 장비인 FFU(Fan Filter Unit) 국산화에 성공했다. 클린룸은 반도체나 디스플레이 등이 제조되는 고청정 공간이다. 먼지나 온도, 습도 등을 완벽하게 제어한다.

산업용 공기청정기인 FFU는 최첨단 공기 제어 기술로 초미세먼지까지 효율적으로 제어해 제품의 품질과 생산 수율을 높이는 클린룸의 핵심 장비다. 2005년 세계일류상품에 선정됐으며 전 세계 시장 점유율 60% 이상을 차지하는 등 우수한 기술력을 자랑한다.

이번 전시회에는 FFU를 비롯해 △V-master △기류 연동 시스템 △휘발성 유기화합물 제거 장비 △파티클 가시화 시스템 등을 선보인다. 모두 공기 제어 기술을 바탕으로 개발됐다. 고청정 공간을 조성하기 위한 장비들이다.

▲신성이엔지가 국내 최초로 국산화에 성공한 FFU. /출처:신성이엔지

V-master는 휘발성유기화합물(VOCs) 제거 장비다. 신성이엔지가 2005년 국내 최초로 개발했다. 로터를 이용해 공장 및 클린룸 내 VOCs를 95% 이상 제거한다. 반도체·디스플레이 등 초정밀 첨단산업 제조환경은 용제 등의 이유로 남을 수밖에 없는 유해 물질을 제거하기 위해 필요하다.

기류 연동 시스템은 클린룸 상부와 측면에 설치돼 장비 내부의 압력을 유지하고 청정한 공기를 공급한다. 파티클 가시화 시스템은 반도체 공정 중 불량을 발생시키는 먼지를 가시화해 오염 원인을 파악하고 해결책을 도출하는 데 사용된다.

신성이엔지 관계자는 "클린룸 장비 국산화로 국내 반도체 산업 태동기에 성장 밑거름 역할을 했다"며 "이번 전시회를 통해 클린룸에 구성된 주요 장비와 기술을 소개하게 돼 기쁘다"고 말했다. 이어 "끊임없는 연구를 통해 2차전지 제조 공간인 드라이룸도 개발하는 등 반도체를 넘어 첨단산업 환경 전반을 개선하는 것이 목표"라고 강조했다.
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