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지유투자, 반도체성장펀드 마수걸이 투자 인투코어테크놀로지 RCPS 5억…"자체 플라즈마 기술력 주목"

김세연 기자공개 2017-09-19 14:29:13

이 기사는 2017년 09월 18일 13:21 더벨 유료페이지에 표출된 기사입니다.

지유투자가 본격적으로 반도체 성장펀드 운용에 나섰다.

지유투자가 최근 결성한 '지유반도체성장투자조합'은 18일 인투코어테크놀로지가 발행한 전환상환우선주(RCPS) 5억 원 어치를 인수했다.

2014년 설립된 인투코어테크놀로지는 반도체 공정에 활용되는 플라즈마 발생기 등을 제조하는 기술중심형 스타트업이다. 이번 투자는 2015년 중소벤처기업부(옛 중소기업청)의 TIPS프로그램과 올해초 벤처캐피탈로부터 각각 6억 원, 20억 원의 투자를 받은 이후 세 번째 투자유치다.

인투코어테크놀로지는 신생업체임에도 고효율 플라즈마 소스를 자체 개발해 업계의 주목을 받았다. 기존 반도체 생산공정에 활용되는 플라즈마 발생기가 제한된 분야에서 활용되는데 반해 높은 효율을 자랑하는 인투코어테크놀로지의 플라즈마 발생기는 기존 세정, 식각 분야외 다양한 응용처에서 활용이 가능하다는 평가다.

반도체 산업관련 환경분야에서도 인투코어테크놀로지의 기술력은 또 다른 주목을 받고 있다.

지난해 개발에 성공한 플라즈마 특성을 활용한 '이산화탄소 플라즈마 변환장치'는 반도체 생산과정에서 발생하는 각종 유해가스를 아세트산, 올레핀 등 고부가가치 물질 원재료로 활용되는 합성가스로 변환해 단위 전력당 처리 효율성을 2배 이상 높였다.

현재 인투코어테크놀로지는 국내 주요 반도체 기업과 적합화(커스터마이징) 과정을 협업중이다. 리모트 플라즈마 기술을 통해 반도체 증착물질의 품질을 개선시키는 등 생산공정별 효율 극대화를 위한 연구개발도 함께 추진하고 있다.

지유투자는 반도체 공정상 필수요소인 플라즈마 소스의 고효율화로 다양한 응용분야에서 활용이 가능하다는 점에서 인투코어테크놀로지의 기업가치를 높게 평가했다.

지유투자 관계자는 "자체 개발한 기술력을 통해 다양한 응용처에서 활용이 가능하다는 점에서 스타트업임에도 성장 가능성이 높다"며 "이르면 내년부터 본격적인 플라즈마 발생기 생산을 예고하는 만큼 향후 추가적인 투자에도 나설 것"이라고 말했다.

한편 지유투자는 인투코어테크놀로지의 투자이후 2~3개의 추가 투자를 통해 연내 50억 원 이상의 투자소진을 달성한다는 목표다.

지유반도체성장투자조합은 반도체성장펀드와 성장사다리펀드의 앵커출자를 통해 결성된 반도체 분야 전문 투자 펀드다. 약정규모는 258억 원으로 반도체 설계 및 제조, 공정장비, 소재·부품 등 반도체가 활용되는 각종 사업분야내 초기기업이 주요 투자대상이다.
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