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[日 화이트리스트 제외 파장]에스앤에스텍, 비메모리반도체 핵심소재 개발경쟁국내최초 블랭크마스크 제조사…EUV펠리클 국산화 기대감 높아

윤필호 기자공개 2019-08-12 08:21:39

이 기사는 2019년 08월 09일 10:36 thebell 에 표출된 기사입니다.

일본의 화이트리스트(전략물자 수출우대제도) 제외 조치를 계기로 소재·부품의 국산화 바람이 불기 시작했다. 국내 최초 블랭크마스크 제조업체인 에스앤에스텍은 일본의 소재·부품을 대체할 수 있는 기업 중 하나로 주목을 받고 있다. 회사는 최근 극자외선(EUV)용 펠리클(Pellicle) 개발을 진행 중으로 세계 관련 기업들과 경쟁을 펼치고 있다. 소재·부품의 국산화에 대한 중요성이 부각되고 있는 만큼, 이 같은 기술 경쟁력은 향후 비모메리 반도체 육성 과정에도 영향을 미칠 전망이다.

에스앤에스텍은 반도체와 디스플레이 핵심 원재료인 블랭크 마스크 전문 제조업체로 2001년 설립됐다. 블랭크마스크는 반도체와 디스플레이 공정재료인 포토마스크 원재료다. 메모리와 비메모리 반도체 소자 제조에 모두 활용되는 소재이며, 액정표시장치(LCD)와 유기발광다이오드(OLED) 등의 디스플레이 패널 제조에도 쓰인다.

최근 일본 정부의 수출규제로 핵심 소재·부품의 국산화 이슈가 뜨겁다. 이런 가운데 비메모리 반도체 부문에서 초미세공정으로 쓰이는 극자외선(EUV) 기술과 관련한 소재에 관심이 커졌다. 정부와 삼성전자는 상대적으로 소외받았던 비메모리 반도체 분야의 육성을 위해 대규모 투자를 공언하고 나섰기 때문이다.

에스앤에스텍은 EUV에 필요한 펠리클 사업화를 위한 차세대 박막 공정 기술을 개발 중이다. 펠리클은 포토마스크 오염을 막고 수명을 연장하는 역할을 하고 있으며, 관련 시장은 기술 장벽이 높아 독과점 구조를 형성하고 있다. 회사는 지난 2017년 7월부터 시작한 연구는 2차연도 개발을 완료하고 현재 3차연도 개발이 진행 중으로 올해 말까지 최종 완료를 목표로 하고 있다. 이를 통해 EUV 펠리클 분야의 원천기술을 확보할 방침이다.

EUV용 펠리클은 아직까지 상용화가 이뤄지지 않은 상황이다. 국내 업체 가운데 에스앤에스텍을 제외하고 에프에스티가 개발을 진행 중이며, 일본에서는 미쓰이 화학이 네덜란드 EUV 노광 장비업체인 ASML과 협약을 맺고 관련 기술 개발에 나섰다. 이 밖에 캐나다의 텔레다인 달사(Teledyne DALSA)와 벨기에 반도체 연구기관인 아이멕(IMEC) 등도 개발 작업을 진행 중이다.

EUV 펠리클은 고부가가치 산업으로 기술 개발에 성공해 초기 시장을 선점할 경우, 세계적인 경쟁력을 강화하는 효과가 기대된다. 다만 기술 개발 이후에도 양산까지는 시간이 더 필요해 보인다. 회사 관계자는 "국책 과제로 수행하는 개발 과정은 올해 말에 완료할 예정이다"면서도 "하지만 양산화를 위해서는 시설을 갖춰야 하는데 추가로 투자가 필요한 상황"이라고 설명했다.

앞서 삼성전자는 파운드리 시장 1위를 목표로 내세웠다. 이와 관련, 올해 하반기부터 EUV 양산을 시작할 예정이다. 그러나 일본의 수출 보복 조치는 이 같은 계획에 중장기적 리스크로 작용하고 있다. 실제로 지난달 시행한 3대 수출제한 품목 가운데 반도체 기판에 바르는 감광제인 포토레지스트와 고순도 불화수소(에칭가스)는 국내 EUV 반도체 생산라인을 겨냥했다는 분석이 힘을 얻고 있다. 향후 비메모리 반도체 육성 계획을 진행하기 위해서는 EUV 관련 소재 국산화가 절실한 상황이다.

현재 블랭크마스크 시장은 일본업체 호야(Hoya)가 세계 시장의 80% 점유율로 과점을 하고 있다. 삼성전자에 들어가는 물량의 60%를 차지한 것으로 알려졌으며, 에스앤에스텍의 경우 10% 안팎의 점유율을 기록한 것으로 알려졌다. 국내에서도 일본 업체에 대한 의존도가 높은 상황에서 후발주자인 에스앤에스텍이 고군분투하는 모양새다. 그러나 이번 일본 수출규제 사태로 국내 주요 고객사들이 국산화 비중을 늘릴 것으로 예상되고 있어 기대감이 커지고 있다.

회사의 매출액은 꾸준히 상승세를 타고 있는데 지난해 611억원 매출을 달성했고 올해 상반기에도 358억원으로 이미 지난해 절반 수준을 뛰어넘었다. 매출액은 디스플레이용 블랭크마스크용이 60%, 반도체가 40% 비율로 나뉜다. 최대 고객사는 삼성디스플레이로 전체 매출액에서 차지하는 비중이 16% 수준이다. 반도체용 블랭크마스크의 고객사로 삼성전자와 SK하이닉스, 중국의 SMIC 등이 있다. 디스플레이의 경우 삼성디스플레이와 미국의 포토마스크 업체인 PKL 등이 있다. 최근 BOE와 CSOT 등 중국의 신규 고객사를 확보해 매출을 확대하고 있다.

한편 에스앤에스텍은 일본의 신에츠나 아사히로부터 합성석영유리기판 등 원재료를 수입해 블랭크 마스크를 제조한다. 블랭크마스크는 삼성전자와 SK하이닉스, PKL 등의 업체들에 넘어가 포토 마스크 제조에 활용된다. 생산된 포토마스크는 삼성전자와 SK하이닉스에서 반도체 생산에 쓰인다. 또 TSMC, SMIC 등으로 납품돼 반도체 제조 공정에 활용된다.

블랭크마스크 공급체인
자료=에스앤에스텍
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