이 기사는 2022년 10월 07일 16:49 thebell 에 표출된 기사입니다.

원익IPS·주성엔지니어링 등 반도체 제조 사업체가 올해 반도체대전(SEDEX 2022)에서 원자층증착법(ALD) 기반 경쟁력을 뽐냈다. 양사는 국내외 반도체 기업 장비 공급망에서 중요한 입지를 보유한 핵심 협력사로 분류된다. 최근에는 공격적인 연구개발(R&D)로 성과를 거두며 지속적으로 두각을 드러내고 있다.

ALD는 미세공정이 중요해진 현대 반도체 공정에서 기존 화학기상증착법(CVD) 대비 더 얇은 두꼐로 반도체 박막을 제조해 적층할 수 있는 기술이다. 100~1000배 정도 더 얇은 박막을 만드는 만큼 나노 단위 반도체 내부에서는 안정적인 다층 구조를 형성할 수 있다. 3, 5나노 등 경쟁적으로 소형·고성능화 되는 반도체 제조를 위한 필수 기술로 여겨진다.

◇ALD 기술 독보적 주성엔지니어링, R&D협력 해외기업도 기웃

주성엔지니어링은 SEDEX 2022에서도 독보적인 ALD 기술을 보유한 기업으로 꼽힌다. 2020년 세계최초로 시공간분할(TSD) 방식을 적용한 ALD 증착 장비를 개발하는 등 돋보이는 R&D 경쟁력을 보이고 있다. 과거 글로벌 ALD 기업 대비 인지도가 낮다는 약점을 지적받기도 했으나, 올해 SEDEX에서 서구권 해외 기업 관계자가 부스를 방문해 R&D 관련 문의를 던지는 모습이 포착되기도 했다.

행사에 참여한 한 관계자는 "주성엔지니어링에서 최근 ALD 기술에서 두각을 드러내고 있다보니 R&D 등 사업 협력에 관심 있는 기업들이 꽤 있는 것으로 안다"며 "극자외선(EUV) 장비의 경우 사실상 ALD와 함께 가다보니 설비투자 흐름과 관계 없이 성장성이 꽤 높은 기업으로 생각하고 있다"고 평가했다.

ALD 기술력을 바탕으로 주성엔지니어링은 현재 SK하이닉스 ALD 물량 대부분 담당하는 저력을 뽐내고 있다. 중국 고객사 발주 물량 호조 등도 이어지는 추세로, 올해 상반기에만 중화권에서 1013억원의 매출이 발생하기도 했다. 또 다른 국내 주요 거래선인 LG디스플레이도 OLED 제조를 위한 ALD 공정에서 주성엔지니어링과 적극적으로 협력 중인 점도 호재다.

증권가 관계자는 "매출의 경우 SK하이닉스의 CAPEX 축소 이야기가 나오고 있으나 M15팹 확장과 더불어 글로벌 파운드리의 미세공정 경쟁 심화로 타격은 크지 않을 것으로 보인다"며 "중화권 고객사도 ALD에 관심이 많고 상대적으로 국내 대비 마진율이 높아 이익율 제고에 큰 도움을 줄 수 있다"고 설명했다.

◇삼성전자향 CAPEX 기대, 원익IPS 수주 기대감 상승

삼성전자 최중요 장비 협력사 중 하나인 원익IPS도 ALD 장비를 중점적으로 SEDEX 2022에 선보였다. 원익IPS는 지난해 삼성전자에 국산화에 성공한 신규 메탈 CVD/ALD 장비(NOA)를 납품하는데 성공했다. 이를 기반으로 올해 삼성전자 혁신우수 협력사 포상에서 최우수 기업으로 선정돼기도 했다.


박성기 원익IPS 반도체사업총괄장 역시 양향자 의원(무소속), 곽노정 SK하이닉스 사장 한국반도체산업협회장과 각 참여기업 고위임원이 동석한 VIP 투어에서 NOA ALD 및 제미니 시스템 등을 중점적으로 설명하며 관심을 끌었다.

원익IPS는 주요 고객사인 삼성전자가 반도체 업황 둔화에 관계 없이 장기적인 투자를 지속하겠다고 공언하면서 꾸준한 수주를 기대받고 있다. 과거 불황기에는 적제 투자했던 기조와 정반대로 파운드리 사업 확장을 위해 계속해서 생산능력 확보에 집중하겠다는 방침이다.

다만 삼성전자의 올해 3분기 잠정 영업이익이 지난해 동기 대비 32% 가까이 감소한 만큼, 업계에서는 조심스럽게 속도조절에 대한 전망이 나오는 추세다. 집적적으로 감산을 하지는 않더라도 재고 소진이나 기존 설비투자를 이월하는 등의 방식을 통해 당장 지출되는 CAPEX 규모를 줄이고 적정한 시기를 재탐색하는 방안 등이 거론 중이다.