이 기사는 2025년 10월 14일 13시49분 thebell에 표출된 기사입니다

반도체 장비 전문기업 저스템이 과학기술정보통신부와 한국산업기술진흥협회가 주관하는 'K-HERO 육성·지원사업' 중 가장 큰 규모인 '글로벌 선도연구소 육성' 사업부문에 선정됐다.

저스템은 지원사업에서 고집적 반도체 웨이퍼 수율 향상을 위한 EFEM 고도화 기술개발을 주제로 과제를 수행한다. EFEM은 반도체 장비 내에서 웨이퍼를 보관하는 장치(Foup)에서 로드락으로 이송시키는 모듈이다.

K-HERO(Korea -Highest Excellence R&D Organization) 육성 지원사업은 국가전략기술분야에서 우수 연구개발(R&D) 역량을 보유한 기업 연구소를 발굴해 중점 지원하는 국책사업이다. 그 중 '글로벌 선도연구소 육성사업'은 세계 최고이자 최초의 기술력 확보가 목표인 기업연구소를 지원하는 프로그램이다. 저스템은 이번 과제 수행으로 총 31억5000만원을 지원받게 된다.

저스템이 수행할 과제는 웨이퍼의 수율 향상을 위해 반도체 제조 공정장비인 EFEM(Equipment Front End Module)을 고도화하는 기술개발이다. 반도체 제조공정에서 습도제어를 통한 수율 향상은 HBM 시대에 이르러 더욱 필수불가결한 공정이슈가 되고 있다.

저스템은 반도체 생산 공정에서 발생하는 습도 문제를 해결하는 습도 제어 솔루션 전문기업으로, 1세대 솔루션인 N2 LPM(Load Port Module)은 세계 시장 점유율 1위를 차지하고 있다. 세계 최초로 개발한 2세대 제품 JFS(Justem Flow Straightener)도 현재 HBM 생산라인을 포함해 주요 글로벌 반도체 기업에 공급된다.

회사는 이번 과제를 통해 공동 연구개발 기관인 명지대, 특허법인 명신과 협력해 2028년까지 반도체공정 습도제어관련 시제품 4종을 개발하여 출시할 예정이다.

박태서 저스템 연구소 부사장은 "저스템의 기술역량을 국가에서 인정해 준 것으로 생각한다"며 "본 과제 수행으로 관련 반도체 장비산업의 국가 기술력과 경쟁력이 한단계 성장하길 기대한다"고 말했다.