이 기사는 2025년 07월 18일 16시05분 thebell에 표출된 기사입니다

원익IPS가 차세대 식각 장비로 꼽히는 원자층 식각(ALE) 장비 분야를 넘보고 있다. 기존 반도체 식각 장비 시장은 도쿄일렉트론(TEL), 램리서치가 장악해 진입 장벽이 높은 만큼 차세대 기술 분야에서 경쟁력을 선제 확보하겠다는 전략이다.

다만 국내에서 반도체 식각 장비 시장에 뚜렷한 성과를 내고 있는 기업은 세메스와 브이엠뿐이다. 업계에서도 원익IPS가 기술 장벽이 높은 반도체 식각 장비 시장에서 뚜렷한 입지를 확보하기까지는 상당한 시간이 걸릴 것으로 보고 있다.

18일 업계에 따르면 원익IPS는 미래 먹거리로 ALE 장비를 선정하고 관련 기술을 개발 중이다. 이를 위해 관련 특허도 다수 출원했다.

원익IPS가 ALE 장비 시장에 진입하려는 것은 기존 증착 장비처럼 플라즈마 기반 기술을 활용할 수 있는 분야이기 때문이다. 회사가 그동안 축적한 플라즈마 공정 기술과 장비 설계 노하우를 식각 분야에 응용할 수 있어 진입 장벽이 높은 식각 시장에서도 기술적 연속성을 확보할 수 있다는 판단이다.

이를 통해 성장성 둔화 국면을 벗어날 수 있을 것으로 기대된다. 원익IPS는 현재 반도체 증착 공정에 편중된 장비 포트폴리오를 보유하고 있으며 해당 시장은 경쟁 심화와 단가 하락 압력이 거세지는 추세다.

원익IPS의 성장성 둔화는 실적에서도 드러난다. 회사는 2021년 1조2323억원으로 사상 최대 매출을 기록했지만 이후 2022년 1조115억원, 2023년 6903억원, 2024년 7418억원으로 감소세를 보이고 있다.

수익성 하락도 이어지고 있다. 2021년 1641억원의 영업이익을 기록했던 원익IPS는 2022년 976억원으로 줄었고 2023년에는 181억원의 영업손실을 기록하며 적자로 돌아섰다. 다만 2024년에는 106억원의 영업이익을 거두며 흑자 전환에 성공했다.

원익IPS가 개발 중인 ALE 장비는 차세대 반도체 공정에서 요구되는 초미세 식각 기술을 구현하기 위한 핵심 설비다. ALE는 반도체 표면에 화학 반응성 가스를 주입해 표면을 원자 단위로 변형시킨 뒤 플라즈마나 열을 이용해 이 변형층만을 정밀하게 제거하는 콘셉트다.

해당 공정을 반복 수행함으로써 식각 두께를 수 옹스트롬(Å) 단위로 정교하게 제어할 수 있다. 기존 반응성 이온식각(RIE) 방식에 비해 정밀도와 균일성이 크게 개선돼 미세화가 극단적으로 진행되고 있는 첨단 공정에서 활용도가 높다.

다만 반도체 전공정 장비 특성상 상용화까지는 상당한 시간이 필요하다. 신뢰성과 공정 안정성이 핵심이기 때문에 장비는 알파·베타 테스트 등 복수의 검증 단계를 거쳐야 한다. 실제 양산 라인 투입까지는 최소 수년이 소요될 수 있다. 특히 식각 장비는 전공정 장비 가운데서도 기술 난이도가 가장 높은 분야로 꼽힌다.

반도체 장비 업계 관계자는 "원익IPS가 수년 전부터 반도체 식각 장비 시장 진출을 목표로 관련 기술을 꾸준히 개발해온것으로 알고 있다"며 "식각 공정은 균일도(Uniformity) 확보가 핵심인데 이제 막 시장에 진입한 업체가 이 수준을 맞추는 건 쉽지 않다"고 말했다. 이어 "특히 고객사 요구 수준이 높아 실제 양산라인에 투입되기까지는 강도 높은 검증을 거쳐야한다"고 덧붙였다.