이 기사는 2025년 08월 14일 16시24분 thebell에 표출된 기사입니다

반도체 제조장비·로봇 전문기업 제우스가 올해 상반기(별도기준) 영업이익률 15.1%를 달성했다. 어드밴스드 패키지용 세정 장비와 디스플레이 반송용 로봇 매출 증가 영향이다.

제우스는 신규 고객 확보에도 힘쓰고 있다. 미국 종합반도체기업(IDM)과 일본 라피더스가 그 대상이다. 미국 IDM에는 이르면 올해 하반기 포토닉 디본더 장비를 공급할 계획이다.

제우스는 14일 상반기 별도기준 매출액 1248억원, 영업이익 189억원을 달성했다고 밝혔다. 전년 동기 대비 매출은 소폭(1.78%) 감소했지만 수익성은 크게 개선됐다. 지난해 상반기 제우스의 별도기준 영업이익률은 6.49%에 불과했다.

회사의 수익성 개선은 어드밴스드 패키지용 세정 장비가 이끌었다. 고대역폭메모리(HBM) 제조 시 실리콘관통전극(TSV) 세정의 중요성이 높은데 제우스는 이 공정에 쓰이는 세정 장비를 주요 메모리 기업에 공급하고 있다.

디스플레이용 반송 로봇도 실적 개선에 일조했다. 이 로봇은 패널을 이송하는 장비로 디스플레이 생산 공정에서 필수적으로 사용된다.

신사업으로 추진 중인 포토닉 디본더와 산업용 로봇 부문에서도 성과가 가시화되고 있다. 포토닉 디본더 장비는 펄스형 광선을 이용해 웨이퍼를 분리하는 장비다. 기존 디본더 장비 대비 웨이퍼 손상과 파티클을 최소화할 수 있다는 장점이 있어 차세대 HBM에서 활용도가 늘어날 것으로 예상된다.

HBM에서 웨이퍼 손상을 최소화해야 하는 이유는 고단 적층이 늘면서 웨이퍼 두께가 얇아졌기 때문이다. 기존 방식으로는 웨이퍼가 손상될 우려도 있다.

제우스는 포토닉 디본더 장비를 어드밴스드 패키지용 세정 장비와 패키지로 판매한다는 구상이다. HBM 코어 다이의 두께가 얇아지면서 고객사들의 문의도 잇따르고 있는 것으로 전해진다.

제품 공급도 임박했다. 제우스는 이르면 올해 말, 늦어도 내년 초에는 미국 IDM에 포토닉 디본더와 세정 장비를 함께 납품할 예정이다.

산업용 로봇 추가 수주도 기대된다. 제우스는 2분기 국내 대기업으로부터 커스텀 로봇 시스템 수주를 받은 바 있다. 이 로봇은 고객사의 라인에서 패널과 금형 이송, 공정 자동화, 제품 검사 등 제조 현장에서 반복적이고 복잡한 작업을 대신 수행한다. 향후 적용 범위는 반도체 제조 공정의 웨이퍼 카세트 핸들링과 메모리 테스트 등으로 확대될 전망이다.

제우스의 연결기준 영업이익률은 0.14%(매출액 1977억원, 영업이익 2억7654만원)다. 일본 자회사 J.E.T.의 매출 감소와 납기 지연에 따른 일회성 비용이 반영된 것으로 추정된다. 구체적으로 중국 반도체 기업의 장비 내재화 강화와 국내 시장 전공정 투자 위축 등이 J.E.T.에 영향을 미쳤다.

회사는 이를 만회하기 위해 일본과 미국 시장 공략에 속도를 내고 있다. 특히 J.E.T.는 일본 파운드리 기업 라피더스와 비메모리 반도체 양산용 세정 장비를 공동 개발 중이다. 해당 장비는 2나노미터(nm) 등 최선단 공정에 투입되는 싱글형 세정 장비로 현재 알파 단계 개발을 마쳤다. J.E.T.는 라피더스 양산 라인에 해당 장비를 공급하는 것을 목표로 개발을 이어가고 있다.

J.E.T.의 미국 매출도 임박했다. J.E.T.의 주요 고객사인 삼성전자가 테일러 팹 장비 투자를 시작하면서 올해 하반기 세정 장비 발주가 나올 것으로 추정된다. 삼성전자 파운드리에는 이미 J.E.T.의 세정 장비가 공급된 바 있다. 업계에서는 이르면 올해 하반기부터 테일러 팹 장비 반입이 시작될 것으로 보고 있다. 세정 장비 등 전공정 장비는 내년 1분기부터 반입되는 것으로 전해진다.