이 기사는 2024년 10월 29일 13시30분 thebell에 표출된 기사입니다

세라믹 소재 제조 코스닥 상장사 미코가 열압착(TC)본더용 부품 시장 공략에 나선다. 한미반도체에 스테이지 히터를 공급하는 한편 국내외 고객사와 펄스 히터 퀄테스트도 진행 중이다. 펄스 히터는 고대역폭메모리(HBM) TC 본더 등 장비에 탑재되는 고부가 제품이다.

29일 업계에 따르면 미코가 한미반도체에 TC본더용 스테이지 히터를 공급 중이다. 스테이지 히터는 TC본더 하부에 장착되는 부품으로 웨이퍼 흡착, 웨이퍼 예열 기능을 담당한다.

미코 관계자는 "(미코가 개발, 공급 중인 제품 중) TC본더에 들어가는 부품은 크게 펄스 히터랑 스테이지 히터가 있다"며 "스테이지 히터의 경우 한미반도체 등 고객사에 납품 중"이라고 말했다.

한미반도체가 만드는 제품 중 스테이지 히터가 들어가는 장비는 HBM용 TC본더뿐인 것으로 전해졌다. 한미반도체는 HBM용 TC본더 최대 공급사 중 하나로 SK하이닉스, 마이크론 등 기업에 장비를 공급 중이다.

미코는 TC본더용 펄스 히터도 개발해 고객사와 퀄테스트를 진행 중이다. 펄스 히터는 TC본더 상단에 장착되는 부품으로 HBM 적층 시 범프가 연결될 수 있도록 열을 가하는데 사용된다.

미코는 펄스 히터의 열전도율을 높히기 위해 질화알루미늄(AIN)과 탄화규소(SIC) 등 소재를 적용했다. 국산화 측면에서도 의미가 깊다. 펄스 히터의 경우 해외 기업 제품이 탑재되고 있다.

미코 관계자는 "HBM 적층 단수가 높아질수록 (펄스 히터의) 승온, 냉각 속도가 빨라져야 해 기술적 난이도가 높다"며 "현재 국내외 고객사와 제품 퀄테스트도 진행 중"이라고 설명했다.

펄스 히터 공급이 본격화되면 미코의 매출은 크게 늘어날 것으로 기대된다. 미코는 올해 2분기 누적 기준 매출은 2656억원, 영업이익은 581억원을 기록했다.