[i-point]시노펙스, 국내 최대 반도체 전시회에 첨단 필터 출품10나노 반도체용 케미컬 필터, 일반인 첫 공개
이종현 기자공개 2025-02-18 15:30:17
이 기사는 2025년 02월 18일 15시30분 thebell에 표출된 기사입니다
시노펙스는 국내 최초로 개발에 성공한 10나노 반도체용 케미컬 필터가 '세미콘코리아 2025'를 통해 일반인에게 첫 공개한다고 18일 밝혔다.세미콘코리아는 반도체 관련 국내 최대 규모 전시회다. 오는 19일부터 21일까지 이틀간 진행된다. 전 세계 반도체 관련 약 500개 기업이 참가할 예정이다.
시노펙스는 이번 전시회에 △15·10나노 반도체용 케미컬 필터 2종 △70·50나노 CMP필터 2종 △Post- CMP 필터 1종 등 반도체 생산 공정에 사용되는 첨단 필터들을 전시할 계획이다.

특히 눈길을 끄는 것은 15·10나노 반도체용 케미컬 필터다. 해당 제품은 2020년 국책과제를 통해 개발에 착수해 지난해 말 상용화에 성공했다. 시노펙스는 동탄사업장에 '첨단 반도체 필터 생산 센터'를 준공하고 고객사와 제품에 대한 평가를 진행하고 있다. 올해 1분기 내 평가를 마치고 2분기 이후 시장 공급을 본격화할 방침이다.
CMP 필터는 시노펙스가 글로벌 반도체 제조기업에 공급하고 있는 제품이다. 기존에 공급하는 70나노 제품을 업그레이드한 50나노 제품도 함께 선보인다. 또 시노펙스는 CMP 공정 이후 세정공정에 사용되는 Post- CMP 필터도 이번 전시회를 통해 공개한다. Post- CMP필터는 제약, 식음료 분야에 사용되는 PES 멤브레인을 적용한 제품이다.
시노펙스 산업용필터 사업그룹 석유민 상무는 "이번에 출품하는 제품은 그동안 전량 수입에 의존하던 제품을 시노펙스가 국산화에 성공한 제품"이라며 "시노펙스가 생산하는 멤브레인 필터가 반도체 산업의 경쟁력을 향상시키는데 일조하고 있다는 자부심을 갖고 있다. 좋은 품질의 제품을 경쟁력 있는 가격으로 공급하기 위해 노력할 것"이라고 말했다.
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