이 기사는 2025년 05월 08일 14시57분 thebell에 표출된 기사입니다

파크시스템스가 올해 1분기 원자현미경(AFM) 장비 수주 증가로 외형 성장과 수익성 개선을 이뤘다. 반도체 투자가 위축됐음에도 공정 안정화와 수율(완성품 중 양품 비율) 개선에 AFM이 유용하게 활용되면서 파크시스템스에 수혜가 몰렸다.

8일 금융감독원 전자공시시스템에 따르면 파크시스템스의 1분기 연결기준 매출액은 전년 동기 대비 98% 성장한 약 509억원으로 잠정 집계됐다. 영업이익은 약 132억원으로 전년 동기 대비 2478% 증가한 것으로 나타났다. 지난해 연간 매출액이 1751억원이었는데, 올해 1분기 만에 30%가량을 이미 달성했다.

주력 제품인 AFM 장비 'NX-Wafer' 수주가 늘어나면서 외형 성장으로 이어졌다. AFM은 시료 형상과 물성을 나노미터 수준에서 계측·분석하는 장비다. 나노 수준의 3차원(3D) 검측을 통해 반도체 수율 향상에 기여한다. 다시 말해 반도체가 더 미세화될수록 AFM 채택률이 높아진다.

파크시스템스 관계자는 "지난해에는 (계절적 비수기인) 하반기에도 수주가 늘어 작년 말 기준 수주잔고가 600억원이 넘었다"며 "(수주 물량이) 1분기 매출로 산입되면서 성장할 수 있었다"고 말했다. 이어 "연구용보다 마진이 좋은 산업용 장비 매출이 늘면서 수익성도 크게 개선됐다"고 설명했다. NX-하이브리드 백색광 간섭계(WLI) 장비도 매출 확대에 기여했다고 한다.

반도체 후공정용 AFM 장비를 출시한 효과도 일부 존재했다. 파크시스템스는 그동안 전공정에 쓰이는 AFM을 판매해 왔으나 지난해 반도체 후공정용 장비를 개발해 하반기 첫 출고에 성공하면서 1분기 매출 산입으로 이어졌다.

업계에서는 앞으로 반도체 미세화·첨단패키징·하이브리드 본딩 등 반도체 공정 변화 흐름에 따라 AFM 중요성이 더욱 부각될 것으로 보고 있다. 파운드리(반도체 위탁생산)나 메모리 제조사는 AFM을 통해 반도체의 아주 미세한 영역까지 검측해 결함의 원인을 잡아내고 공정에 반영한다. 파크시스템스의 AFM 장비는 대만 파운드리 TSMC나 삼성전자 파운드리, SK하이닉스, 미국 인텔과 마이크론, 중국 메모리와 비메모리 업체에 납품돼 이들 제조사가 반도체 수율을 끌어 올리는 데 적용되고 있다.

회사 측은 올해도 성장세가 이어질 것으로 기대하고 있다. 파크시스템스는 2014년만 해도 매출이 153억원 수준이었으나 매년 최대 성적표를 갈아치웠다. 2019년 연간 매출액 약 520억원에서 이듬해 712억원, 2021년 853억원, 2022년 1245억원, 2023년 1448억원으로 꾸준히 성장하고 있다.

앞선 관계자는 "반도체 제조사들의 수율 개선을 위한 노력이 계속되기 때문에 캐파(CAPA·생산능력 확대)가 없더라도 공정 안정화와 수율 개선, 연구개발(R&D) 등에서 계측 장비 수요가 꾸준히 늘어나고 있다"며 "그래서 불황에도 기복 없이 성장할 수 있는 것"이라고 덧붙였다.