이 기사는 2022년 03월 07일 09:01 thebell 에 표출된 기사입니다.

원자현미경(AFM) 검사장비 전문 제조사 '파크시스템스'가 지난 1월에 300억원 가량 수주에 성공한 데 지난달 말에도 총 5대의 산업용 장비를 추가 수주하면서 호조세를 이어갔다.

7일 파크시스템스에 따르면 지난달 말 중화권 반도체 제조업체 및 LG디스플레이와 장비 공급계약을 체결했다. NX-Hybrid WLI, NX-TSH, NX-Wafer 등의 제품들이 이번 계약으로 고객사에 납품될 예정이다. 약 100억원의 물량이다.

NX-Hybrid WLI는 파크시스템스의 신규 장비로, WLI(백색광 간섭계)와 AFM의 장점을 상호 결합해 하나의 장비로 통합한 세계 최초의 하이브리드 솔루션이다. WLI 기술을 이용해 넓은 범위를 빠르게 측정하는 동시에 AFM으로 미세한 부분을 한층 더 정밀하게 볼 수 있는 것이 특징이다.

파크시스템스 관계자는 "반도체 전공정은 물론 미세 구조 측정이 필요한 후공정 및 패키징 분야까지 커버가 가능한 장비"라면서 "최첨단 소자 개발과 반도체 공정 최적화를 위한 나노 측정 기술을 제공할 수 있을 것으로 기대된다"고 말했다.

지난 1월에 이어 LG디스플레이로부터 두번째 수주를 받은 NX-TSH는 300mm 이상의 대면적 샘플을 나노 단위로 계측할 수 있는 장비다. OLED, LCD 등의 샘플에서 비파괴적인 방법으로 정확한 측정 결과를 얻을 수 있는 것이 장점이다. 본 계약으로 납품될 장비는 샘플 패턴의 단차, 선폭 등을 측정하는 용도로 사용될 예정이다.

파크시스템스 관계자는 "해당 장비들은 고객이 희망한 납기일에 맞춰 연내 모두 납품이 이루어질 예정"이라면서 "1월에 이어 2월 역시 수주가 순조롭게 이뤄지고 있는 만큼 올해 좋은 흐름이 예상된다"고 말했다.