이 기사는 2023년 05월 11일 08시03분 thebell에 표출된 기사입니다

반도체 건식식각 장비 전문업체 에이피티씨(APTC)가 옥사이드 식각장비로 국내를 넘어 해외 시장 문을 두드린다. 세계적인 장비사 램리서치와 도쿄일렉트론(TEL)이 선점한 옥사이드 식각장비 시장에 균열을 낼 수 있을지 주목된다.

11일 관련 업계에 따르면 APTC는 오는 하반기 옥사이드 식각장비 시제품 개발을 목표로 연구개발(R&D)을 진행 중이다. 식각 공정은 웨이퍼(반도체 원판)에서 회로 패턴을 제외하고 나머지 부분을 제거하는 반도체 전공정을 말한다.

◇옥사이드 식각장비란

반도체 건식식각 종류는 폴리실리콘과 메탈, 옥사이드 세 가지로 나뉜다. 폴리실리콘 식각장비는 실리콘 층을 깎아내고, 옥사이드 식각장비는 옥사이드(절연막)를 깎아 보다 깊은 구멍을 뚫어야 하기 때문에 난이도가 높고 시장 규모가 가장 크다.

미국 시장조사기관 가트너 조사결과를 보면 건식식각 시장 규모는 2023년 약 170억달러에 이를 것으로 조사됐는데 이 중 절반이 옥사이드 장비 시장이었다. 옥사이드 장비 시장은 89억달러, 2025년 98억달러, 2026년 103억달러로 성장할 것으로 점쳐진다.
APTC는 지금까지 폴리실리콘과 메탈 식각장비 판매에 주력해 왔으나 앞으로 시장 규모가 큰 옥사이드 장비 시장에 진입해 안착한다면 폭발적인 성장잠재력을 기대할 수 있을 전망이다. 전 세계적으로 옥사이드 식각장비 개발 기술력을 가진 곳은 램리서치와 도쿄일렉트론, 어플라이드머티어리얼즈(AMAT) 외에 국내 APTC 밖에 없는 것으로 알려졌다. 이 중 실제로 장비 양산 적용에 성공한 회사는 램리서치와 도쿄일렉트론뿐이다. 그만큼 진입장벽이 상당히 높다는 얘기다.

반도체 업계 한 관계자는 "옥사이드 식각 장비는 도쿄일렉트론과 램리서치가 양분하고 있는데 지금은 대부분의 비중을 램리서치가 갖고 있다"며 "이 시장을 토종 업체인 APTC가 비집고 들어갈 수 있다면 큰 의미가 있을 것"이라고 말했다.

◇해외 진출 성공할까

현재 APTC의 최대 고객사는 SK하이닉스다. APTC가 옥사이드 장비 라인업까지 갖추면 마이크론과 인텔 등 미국 반도체 기업과의 거래 관계를 뚫는 데도 유리해진다. 앞서 2019년 APTC는 미국 진출을 위해 미국 법인 'APTC AMERICA CORP'을 설립한 바 있다.

전 세계적으로 식각 장비를 제조하는 기업은 손에 꼽을 정도이기 때문에 글로벌 반도체 기업 입장에서도 거래처를 다변화할 필요성이 있다. 업계에서 옥사이드 식각 장비를 개발 중인 APTC에 주목하는 이유다.

2002년 설립된 APTC는 2005년 SK하이닉스의 전략파트너로, 2017년에는 기술혁신기업으로 선정되면서 본격적으로 식각장비를 개발해 왔다. 기술 난도가 높아 시장에 진출한 업체가 손에 꼽을 정도로 적은 식각 장비 시장에서 국산화를 이뤄냈다. 끊임없는 R&D를 통해 국내 장비기업 중 유일하게 옥사이드 장비 시장 진출까지 노리고 있다.

다만 올해는 SK하이닉스가 반도체 불황으로 전년보다 투자를 대폭 줄이면서 장비 발주를 취소해 반도체 장비업체들의 실적 감소 폭이 커질 것으로 전망된다. 안정적인 재무구조를 갖춘 APTC조차도 고객사의 갑작스런 장비 발주 취소로 운용자금 부족이 예상돼 지난해 말 220억원을 외부에서 선제적으로 조달했다.

APTC 관계자는 "최우형 대표가 자금과 인적자원을 효율적으로 운영해온 덕에 이번 위기를 큰 기회로 활용할 수 있을 것"이라며 "올해는 옥사이드 식각장비 개발, 최신공정용 폴리실리콘 식각장비 개발, 북미고객사 확보에 매진할 것"이라고 말했다. 이어 "불황을 기회 삼아 성장을 위한 발판을 마련하고 있다"고 덧붙였다.