시노펙스 "100나노급 UPE필터 국산화 성공" 그간 전량 수입 의존, 반도체 PR 공정서 활용…7일까지 코엑스서 공개
황선중 기자공개 2022-10-04 11:14:27
이 기사는 2022년 10월 04일 11시13분 thebell에 표출된 기사입니다
UPE필터는 반도체 생산 핵심공정인 PR(포토레지스트) 공정에 사용되는 제품이다. PR케미컬의 불순물을 걸러주는 역할을 한다. 반도체 제조공정 특성상 미세한 파티클의 관리가 제품의 수율을 좌우하는 만큼, 파티클을 걸러주는 미세한 필터가 필수적이라는 설명이다.
시노펙스는 이번 100나노급 UPE필터 국산화 성공을 계기로 2023년에는 50나노급 UPE 필터를 개발해 경쟁력을 지속해서 강화해 나간다는 전략이다.해당 UPE필터는 이날부터 7일까지 코엑스에서 개최되는 스마트비즈엑스포에서 살펴볼 수 있다.
노시갑 시노펙스 부사장은 "PR공정용 100나노급 UPE필터는 그간 일본과 미국에서 전량 수입하던 상황이었는데, 이번 국산화를 통해 한국 반도체 산업경쟁력 강화에 일조할 수 있게 됐다”고 말했다.
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