이 기사는 2025년 02월 11일 16시14분 thebell에 표출된 기사입니다

에이치피에스피(HPSP)가 예스티(YEST)로부터 특허심판원에 피소됐던 소극적 권리범위확인 심판에서 '각하' 판정을 받았다. 양측 특허 분쟁의 중심인 '반도체 기판 처리용 챔버 개폐장치' 첫 심판에서 지난해 승기를 잡은 이후 재차 받은 유리한 판결이다. 다만 이번 결론에 대해 양측의 입장은 엇갈린다.

11일 반도체업계에 따르면 특허심판원은 이달 7일 제1576056호 특허 소극적 권리범위확인심판에 관해 각하 심결을 내렸다.

이 심판은 예스티가 2023년 12월 13일 HPSP를 상대로 제기했다. 제1576056호 특허는 2014년 출원됐다. 당시는 풍산에 속해 있던 시기로 현재 권리자는 HPSP다. 명칭은 '반도체 기판처리용 냉각장치'다.
특허심판원의 각하 심결에 대해 양측은 입장은 대비된다. 심판을 제기한 예스티는 특허심판원이 해당 심판을 계속할 이유가 없어져 청구를 각하했고 심판 과정에서 HPSP가 균등침해가 아니라는 점을 인정했기 때문에 향후 해당 특허로 인한 분쟁의 소지가 해소되었다는 취지의 입장을 밝히고 있다.

HPSP는 정반대의 입장이다. 해당 특허에서는 냉각 효율을 높이기 위해 냉각기와 순환덕트를 채택한다. 예스티가 냉각기와 순환덕트를 갖추지 않아 냉각 효율이 낮은 기술을 사용하면 분쟁의 소지가 없지만 해당 기술과 구조를 활용할 경우에는 그렇지 않다고 밝혔다.

특허심판원의 각하 심결에 대해서도 예스티의 주장을 반박했다. 특허심판원에서 '확인을 구할 이익이 없는' 부적법한 심판 청구로 보면서 본안 판단(인용·기각)을 내릴 수 없기 때문에 각하 심결을 내렸다는 설명이다.

HPSP 관계자는 "각하 심결은 적법하지 않은 심판청구에 대해 내리는 결정이지 청구인의 주장을 인정한다는 의미로 볼 수 없을 것"이라며 "당사는 특허심판원의 심결을 존중하며 앞으로도 특허 분쟁에 적극 대응하며 지적재산권을 더욱 방어하겠다"고 말했다.


이번 제1576056호 특허 소극적 권리범위확인심판은 HPSP와 예스티가 벌이는 다수의 특허 분쟁 중 하나다. HPSP의 주요 기술이자 특허이기는 하지만 양측 다툼의 핵심은 아니다. 중요 쟁점에서는 HPSP가 우위에 있는 상태다.

양측의 분쟁에서 가장 중요하다고 평가받는 특허는 제155027호다. 특허 명칭은 '반도체 기판 처리용 챔버 개폐장치'다. HPSP가 글로벌 시장에서 독점적 지위를 지닌 고압수소어닐링(HPA·High Pressure Annealing) 장비에 쓰인다.

HPSP는 2023년 8월 예스티를 상대로 서울중앙지방법원에 특허침해소송을 제기했다. 이 소송의 쟁점 특허가 제155027호다. 예스티는 2023년 10월 31일 특허심판원에 HPSP를 상대로 해당 특허의 무효심판을 제기했다. 아울러 작년 1월 15일에는 3건의 권리범위확인심판도 제기했다.

하지만 특허심판원은 지난해 HPSP의 손을 들어줬다. 특허무효심판에서 HPSP의 승소 판정을 했고 3건의 권리범위확인심판에 관해서는 각하 심결을 내렸다.

HPSP 입장에서는 보유 특허의 원천성, 진보성, 유효성을 모두 인정받으면서 글로벌 시장에서 독점적인 지위를 유지할 수 있게 됐다. 아울러 고압산화공정(HPO) 등 기존 기술력을 활용한 신규 장비 라인업 개발과 출시도 탄력을 받게 됐다.

당시 예스티는 권리범위확인심판의 경우 재청구하고 특허무효심판에 대해서도 특허법원에 항소할 것이라고 밝혔다. 또 "이번 소극적권리범위심판 각하 및 재청구로 인해 예스티의 구조가 HPSP의 특허를 침해하지 않는다는 특허심판원의 판결을 받는데 당초 계획보다 5~6개월의 시일이 더 소요될 것"이라고 설명한 바 있다.